性能特点:
双摆臂,双工位,四弹匣,自动更换蓝膜,蓝膜自动对位!
双摆臂,一取一放,同步完成芯片取放!
双工位,一用一备,更换石墨舟不停机!
四弹匣,二用二备,减少弹匣更换频次!
自动更换蓝膜,一次放置15片蓝膜芯片!
蓝膜自动对位,自动旋转角度对正位置!